|
ПЕРЕНОСНОЙ
РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНЫЙ
ДИФРАКТОМЕТР
- КОМПАРАТОР |
|
 |
Области применения
1. Электронная и полупроводниковая промышленность.
2. Пьезо – акустическая электроника.
3. Квантовая электроника.
4. Ювелирная промышленность.
5. Определение качества обработки поверхности
монокристаллических пластин. |
|
Дифрактометр –
компаратор предназначен для определения отклонения плоскости
среза монокристаллических пластин от заданной
кристаллографической плоскости. Основным элементом в
рентгеновской схеме малогабаритного дифрактометра является
фокусирующая капиллярная линза Кумахова с заданным углом α
сходимости рентгеновского излучения ~ 1-3°, позволяющая с
помощью линейно - координатного детектора с окном 25-50мм
определять технологическую ориентацию срезов монокристаллических
пластин по сравнению с эталоном.
 Линзы Куахова
обеспечивают нужные углы сходимости первичных пучков,
обеспечивая безкинематическую серию съемок монокристаллов. Смена
углов дифракции производится
только пр
переходек другим монокристаллам иного состава.
Использование позиционно-чувсвительного детектора и оригинальная
конструкция держателя
позволяют получать требуемую точность измерения
угла
Δψ
|
|
Блок рентгеновской трубки (рентгеновская трубка 1 с
коллимационной системой 2) формирует расходящийся первичный
пучок, который собирается изогнутым (по Иоганну) кристаллом
монохроматором 3 (SiO2
(101.1))
в точку на поверхности среза, анализируемого образца 4,
установленного в кристаллодержателе 5.Такая схема требует
сложной прецизионной юстировки |
Использование полной фокусирующей линзы (2) для формирования
рентгеновского пучка с определенным углом сходимости α
рентгеновских лучей позволяет не только значительно упростить
оптическую схему дифрактометра для определения отклонения угла
ориентации кристаллографических плоскостей монокристалла (5)Δψ
от заданного угла, но и значительно улучшить воспроизводимость
определения
Δψ,
уменьшить габариты прибора и мощность рентгеновской трубки(1).
|
|
|
|
Требования к углу сходимости α рентгеновского пучка от полной
линзы Кумахова определяется максимально допустимым отклонением
угла ориентации кристаллографических плоскостей
jmax
от заданного угла
j
(α >2
jmax).
Использование сходящегося на образце рентгеновского пучка
позволяет избавиться от вращения монокристаллической пластины с
целью поиска максимума дифракционного отражения. Точность
определения измеряемого угла отклонения ±5". |
|
Принцип действия
Принцип
действия компаратора основан на том, что излучение, генерируемое
 рентгеновской
трубкой, сколлимированное поликапиллярной линзой, дифрагирует на
кристаллической решетке облучаемого материала. Угловое
распределение интенсивности дифрагированного излучения
регистрируется линейно-координатным детектором и обрабатывается
цифровыми устройствами с целью определения углового положения,
интенсивностей и ширин на полувысоте дифракционных пиков,
изменение которых определяет отклонение угла среза
монокристаллических пластин от номинального значения.
Ширина пика дифракции зависит от качества обработки
монокристаллической поверхности пластины. Потому одновременно с
идентификацией ориентации пластины , возможно также оценить
качество поверхности отражения после обработки. |
|
Прибор снабжен
программным обеспечением для автоматического определения угла
отклонения исследуемых монокристаллических пластин.
Специальный кристаллодержатель позволяет анализировать
ориентацию пластин любой формы и размеров, а также не требует
юстировки образца перед измерением.
Процесс анализа от набора данных и их
обработки до получения результатов в виде таблиц угловых
положений, интенсивностей и ширин на полувысоте дифракционных
максимумов автоматизирован и выполняется с помощью персонального
компьютера РС.
|
Основные технические
параметры
Масса – гониометра
– 10кг
Блок управления - 15кг
Общая масса
прибора
– 25кг
Рентгеновская трубка:
мощность –
10(5)Вт
анод
– Cu
размер фокуса –
0,2х2мм
охлаждение –
воздушное
Детектор – газонаполненный,
позиционно-чувствительный, пропорциональный
Длина рабочего окна – 25 – 50
мм
Пространственное разрешение –
115мкм
Электрическая потребляемая мощность – 220В, 50-60Гц, 125Вт |
СОСТАВ ПРИБОРА:
1
рентгеновской
трубки в защитном кожухе,
2
совмещенным с коллимационным устройством на
основе поликапиллярных линз
3. линейно-координатного детектора;
4. гониометрического устройства;
5.
держателя образцов;
5. портативный
компьютер
 А также блока питания и регистрации, содержащего высоковольтный
источник питания рентгеновской трубки и линейно-координатного
детектора, аналого-цифрового преобразователя, платы сопряжения.
|
